功能介紹Function Introduction
四點探針法、全自動化運行測量系統
PC軟件采集和數據處理、ASTM方法
自動正/負電流輸出,自動正/負電壓測量
測量電阻率、方塊電阻、厚度
可調探針壓力、測試點數、多種模式
顯示2D,3D掃描/數值圖、溫濕度值
提供標準校準電阻件、數據統計分析
適用范圍Scope of application
晶圓、非晶硅/微晶硅和半導體襯底電阻率測量;選擇性發射極擴散片;
表面鈍化片;交叉指樣PN結擴散片;*電極設計,如電鍍銅電阻測量等;
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四點探針法、全自動化運行測量系統
PC軟件采集和數據處理、ASTM方法
自動正/負電流輸出,自動正/負電壓測量
測量電阻率、方塊電阻、厚度
可調探針壓力、測試點數、多種模式
顯示2D,3D掃描/數值圖、溫濕度值
提供標準校準電阻件、數據統計分析
適用范圍Scope of application
晶圓、非晶硅/微晶硅和半導體襯底電阻率測量;選擇性發射極擴散片;
表面鈍化片;交叉指樣PN結擴散片;*電極設計,如電鍍銅電阻測量等;