LINTEC琳得科 加熱器 高溫熱交換器 MC-700
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質量流控制器后階段的氣體加熱
在半導體制造過程中,它不僅需要加熱氣體,而且還需要加熱流動控制的氣體。因此,由于流速由燃氣加熱器初級側面的質量流控制器控制,因此需要低壓加熱器(次要側)。質量流控制器制造商(LINTECH)的燃氣加熱器(HX)具有低壓力損失結構
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