ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計 ST200-R
ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計 ST200-R
ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計 ST200-R
這是傳感器類型“型號：G-TRAN”多離子計的*號，可以連接不同測量范圍的測量元件。 這種三極管型電離真空計不易受到靈敏度的影響，即使在真空計難以控制的環境中也能進行更長時間、更準確的真空測量。 在繼承高使用壽命和低運行成本的傳統理念的同時，我們進行了更加用戶友好的改進。
長處
可用性改進：可以通過 PC/智能手機連接設置設定點、狀態檢查等。
燈絲壽命通知功能：燈絲電量監控可提前通知燈絲壽命
可連接不同測量范圍的傳感器：多離子計允許根據應用選擇測量元件
緊湊性：比傳統產品小得多（控制器體積減少 56%），是世界上*小的級別
產品陣容充實：除了模擬輸出規格（ST200-A）和串行通信規格（ST200-R）外，還將增加EtherCAT規格（ST200-E）
世界上*臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣環境中也能保持長壽命
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空 （1×10）+5~1×10-5Pa）（連接了可選單元 SWU10-R 時）
的大氣壓力測量：可以檢查腔室打開時的大氣壓力（當連接到可選單元 SAU 時）
用
用于檢查 OLED 和觸摸屏等制造設備的極限壓力，以及用于過程管理
用于檢查真空爐等各種工業真空設備的極限壓力
用于在含有大量碳氫化合物（油基）的氣氛中進行測量
用于在真空部件加工過程中殘留切削油和清潔液的環境中進行測量
對于希望減少真空計測量裝置更換頻率的真空設備
* 如果您在腐蝕性氣體（鹵素氣體）環境中使用它，請聯系我們。
規范
| 型 | ST200-A 系列 | ST200-R 系列 | ST200-E（即將發布） | |
| 規范 | 標準規格 | 串行通信規格 | EtherCAT 規范 | |
| 自適應多離子計傳感器 | SWT-16（NW16）， SWT-25（NW25） | |||
| 可連接的傳感器 |
多離子真空計傳感器：1 皮拉尼真空計 SWU10-R：1（可選） 大氣 壓力傳感器 SAU：1（可選） |
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| 重復性 （N2) | ST200 獨立模式：±2% | |||
| 采樣時間 | 60ms 5 移動平均線處理 | |||
| 測量值輸出 |
輸出電壓 DC 0~10V LOG 輸出 0.75V/個位數 壓力轉換公式 V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25）/0.75+2} |
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| 更新時間 | 60 毫秒 | |||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF 使用集電極開路輸入、負邏輯運行 | - | - | |
| 控制輸出信號 |
傳感器錯誤，設定點 1/2/3，發射有效，燈絲 功率監控 額定值：24V MAX，50mA MAX，1V 飽和電壓 |
- | - | |
| 串行通信規格 | - | RS232C/RS-485 接口 | EtherCAT 技術 | |
| LED 指示 | POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態根據每種模式而變化） | |||
| 發射電流 | 2mA（1×10-2Pa 或更低）、10 μA （1×10-2PA 或更高） | |||
| DEGAS | 電子轟擊方式，發射電流 2 mA，電網電壓約 330 V | |||
| 傳感器耐壓 | 2×10+5Pa （*壓力） * 法蘭和卡箍等耐壓性必須單獨考慮。 | |||
| 傳感器內部容積 | 17 厘米3（SWT-16），19 厘米3（SWT-25） | |||
| 工作溫度范圍 | 10~50°C | |||
| 工作濕度范圍 | 15~80% （無結露） | |||
| 儲存溫度 | -20~65°C（斷電時，無冷凝） | |||
| IP 防護等級 | IP30 防護等級 | |||
| 電源電壓 |
DC20~28V（紋波、噪聲 1% 以下）
8W 或更低
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| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15 針（M2.6 螺絲） | |||
| 質量 | 控制器：約 280g 測量元件（SWT-16、SWT-25）：80g | |||
| 尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm（控制器） | |||
| 法規遵從性 | CE | |||
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Op-syeong （奧普祥） |
多離子計傳感器 |
SWT-16 （NW16）， SWT-25 （NW25） 材質 ： 燈絲 ： Ir/Y2O3 涂層 其他： PtC-Mo， SUS304， W， 可伐合金玻璃， 可伐合金/鎳電鍍 |
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| 皮拉尼真空計 | SWU10-R *兼容傳統 SPU | |||
| 皮拉尼儀表傳感器 |
SWP-16（NW16）， SWP-25（NW25）， SWP-R1/8（R1/8）， SWP-P18（Φ18管端）， SWP-P15（Φ15管端）， SWP-CF16（ICF034）材質 ： 細絲-Pt， 其他-BS/Ni， 電鍍， Ni， 焊錫 |
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| 氣壓傳感器 | SAU（NW16） 材質：SUS316L | |||
| 單元電纜 |
GUC-200P（用于 SWU）：0.5m、1m、2mGUC-200A （用于 SAU）：0.5m、1m、2m |
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| 顯示單位 | 1CH：ISG1（使用 24V DC 電源） | |||
| 顯示單元電纜 |
SH200 ~ 顯示單元電纜 2m， 5m， 10m， 15m， 20m， 25m， 30m， 35m， 40m |
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| 連接器 | 輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm 螺絲）） | |||
| 其他 | 檢驗報告、通用校準檢驗報告、JCSS 校準證書 | |||
