ULVAC愛發科 油旋轉真空泵 VD90C
ULVAC愛發科 油旋轉真空泵 VD90C
ULVAC愛發科 油旋轉真空泵 VD90C
“型號：VD Ver.C”是旋片式（2級）直驅式油旋轉真空泵。兩級旋轉葉片結構提供高極限壓力和低噪音泵的優化設計。它是一種可用于廣泛應用的真空泵，具有全系列的可選規格。
長處
高入口壓力連續， 常壓真空， 可重復排氣
采用帶油泵的強制潤滑系統
采用液壓油防袋本機
*限度地減少了油回流到氣缸中。它配備了一個油防袋，以在泵重新啟動時減輕負載。 因此，無需擔心意外停電或因停止真空泵而不將進氣側恢復到大氣壓而引起的問題，例如泵油回流到氣缸中，難以重新啟動。
設計易于維護它具有
一個易于加油的大油蓋，一個油位計，可讓您從多個方向檢查剩余油位，以及一個提供油基更換的排油閥。 此外，它還具有一種結構，可以在大修或修理泵時無需拆除進氣側的電機布線和管道即可進行維護。
符合 CE、cTUVus 和
CE 標準， 它可以在歐盟*和歐洲經濟區使用。 它還通過了 cTVUus 標準，因此可以在北美安全使用。
采用 ULVAC 獨創的高效 （IE3） 多電壓電機
日本的電機生產統一為高效電機 （IE3），單個電機的進口也僅限于 （IE3）一直都是這樣。 此外，《能效標識實施條例》已在實施，目前為 GB3 級 （GB18613-2012）它已被修訂為： 這些效率標準配備了 ULVAC 集團公司制造的電機。
用
氣相沉積設備、濺射設備、離子電鍍設備
分析儀器和泄漏測試設備
氣體置換和液體注入
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣、真空絕熱
真空吸附和真空成型
其他真空設備
規范
|
型 |
VD30C 系列 | VD40C 系列 | VD60C 系列 | VD90C 系列 | ||
|
設計抽速 m3/h （升/分鐘） |
50 赫茲 |
30 （500） |
40 （670） |
60 （1000元） |
90 （1500） |
|
| 60 赫茲 |
36 （600） |
48 （800） |
72 （1200） |
108 （1800） |
||
|
極限壓力 *1 Pa |
GP 已關閉 | ≦ 0.67 | ||||
| GP 開放 | ≦ 2.0 | |||||
|
*允許水蒸氣 壓 Pa |
GP 開放 | 50 赫茲 | 0 | 970 | ||
| 60 赫茲 | 0 | 2820 *2 | ||||
|
*水分蒸發 率 g/h |
GP 開放 | 50 赫茲 | 190 | 270 | 430 | 480 |
| 60 赫茲 | 250 | 410 | 1100 | 1650 *2 | ||
| 電機 *3 | 格式 | 全封閉風扇式三相異步電動機 | ||||
| 高效級 | IE3 | |||||
|
輸出功率 kW （極數） |
1.5 （4） |
1.5 （4） |
2.2 （4） |
3.7 （4） |
||
|
電壓 V |
50 赫茲 | 200 ~ 240 / 380 ~ 415 （多電壓電機） | ||||
| 60 赫茲 | 200 ~ 240 / 380 ~ 460 （多電壓電機） | |||||
| 使用的油 | ULVOIL R-72 | |||||
|
機油需求 L |
1.0 ~ 2.5 | 2.5 ~ 4.0 | ||||
| 冷卻方式 | 風冷 | |||||
| 進氣口直徑 JIS B 2290（可選 ISO KF） | VG40 （KF40 或同等產品） | 相當于 VG50（相當于 KF50） | ||||
| 排氣口徑 JIS B 2290 （可選 ISO KF） | VG40 （KF40 或同等產品） | |||||
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。
