ULVAC愛(ài)發(fā)科皮拉尼真空計(jì) SP1

2025/07/07 14:44:01

傳感器單元 SP1 是一種傳感器型皮拉尼真空計(jì)，其中集成了測(cè)量元件和電路，可節(jié)省成本和空間。

長(zhǎng)處

節(jié)省成本和空間的傳感器類(lèi)型

燈絲材料由鉑制成，具有優(yōu)異的耐腐蝕性。

ULVAC愛(ài)發(fā)科皮拉尼真空計(jì) SP1

2 個(gè)設(shè)定點(diǎn)輸出，測(cè)量元件輸出：DC0~5V（非線(xiàn)性輸出）

電源電壓：DC24V 輸入

用

用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的低真空范圍內(nèi)的過(guò)程控制

用于窯爐和其他工業(yè)設(shè)備的低真空范圍內(nèi)的過(guò)程控制

用于具有許多工藝腔室的各種制造設(shè)備（如在線(xiàn)和單晶片）的低真空范圍內(nèi)的過(guò)程控制

類(lèi)型	傳感器單元
型	第 1 頁(yè)
自適應(yīng)測(cè)量元件	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
測(cè)量精度	±15 %（51 Pa ~760 Pa）
	±30 %（10 帕 ~1000 帕）
	±50 %（0.4 帕 ~3000 帕）
工作溫度范圍	10~40°C
采樣時(shí)間	50ms 5 移動(dòng)平均線(xiàn)處理
測(cè)量值輸出	非線(xiàn)性輸出：DC0-5V（* 10V）
	（更新時(shí)間） 50 ms
	（分辨率） 10 mV
用于設(shè)定點(diǎn) 1/2 調(diào)整的輸出	非線(xiàn)性輸出：DC 0-5V（* 10V）
控制輸出信號(hào)	集電極開(kāi)路，負(fù)邏輯
	錯(cuò)誤信號(hào)
	設(shè)定點(diǎn) 1/2
LED 指示	功率、錯(cuò)誤、設(shè)定點(diǎn) 1/2
電源電壓	DC24V±2V， 90mA（*）
輸入/輸出連接器	D-sub-15P（M2.6 螺絲）
體重	190g （不包括測(cè)量元件）
附屬品	1 組 I/O 連接器
附屬品	快速手冊(cè) （1 份）

ULVAC（愛(ài)發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專(zhuān)注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車(chē)、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線(xiàn)光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。

優(yōu)惠MVA球閥

優(yōu)惠MVA蝶閥

ULVAC愛(ài)發(fā)科 皮拉尼真空計(jì) SP1

ULVAC愛(ài)發(fā)科皮拉尼真空計(jì) SP1