ULVAC愛發科濺射離子泵 PST-100CX

2025/07/03 15:53:19

濺射離子泵使用電場和磁場使氣體分子電離。電離分子被電場加速并與固體目標表面碰撞。這種碰撞導致分子嵌入表面并產生真空。該工藝對于去除惰性和反應性氣體特別有效。

濺射離子泵是精密實驗和制造工藝的理想選擇，因為它們可以實現 10^-11 Torr 或更低的高真空，并且沒有機械運動部件，因此使用壽命長，維護成本低，并且不使用油來提供清潔、無污染的真空環境。此外，與其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等優點。

該泵利用濺射活性鈦的吸氣劑作用來增強高真空范圍內的排氣特性。

通過優化新元件和磁場，改善了極端和高真空范圍內的排氣特性。

ULVAC愛發科濺射離子泵 PST-100CX

長處

兼容極端和高真空。 10 帶 ISO 標準測試圓球-9PA 裝置極限壓力演示。

惰性氣體強化排氣型（AU 型）實現了氬氣排氣性能的兩倍。（與我們公司相比）

在高真空范圍內實現大抽速。

可以在短時間內排氣到高真空范圍。

在高真空范圍內具有*的啟動特性。（放電可承受至高真空）

用

粒子加速器

電子顯微鏡

電子束光刻設備

抗振分析儀

使用極端和高真空環境等

ULVAC愛發科 濺射離子泵 PST-100CX