ULVAC愛發(fā)科濺射離子泵 PST-100AX

2025/07/03 15:52:23

濺射離子泵使用電場和磁場使氣體分子電離。電離分子被電場加速并與固體目標(biāo)表面碰撞。這種碰撞導(dǎo)致分子嵌入表面并產(chǎn)生真空。該工藝對于去除惰性和反應(yīng)性氣體特別有效。

濺射離子泵是精密實(shí)驗(yàn)和制造工藝的理想選擇，因?yàn)樗鼈兛梢詫?shí)現(xiàn) 10^-11 Torr 或更低的高真空，并且沒有機(jī)械運(yùn)動部件，因此使用壽命長，維護(hù)成本低，并且不使用油來提供清潔、無污染的真空環(huán)境。此外，與其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等優(yōu)點(diǎn)。

ULVAC愛發(fā)科濺射離子泵 PST-100AX

該泵利用濺射活性鈦的吸氣劑作用來增強(qiáng)高真空范圍內(nèi)的排氣特性。

通過優(yōu)化新元件和磁場，改善了極端和高真空范圍內(nèi)的排氣特性。

長處

兼容極端和高真空。 10 帶 ISO 標(biāo)準(zhǔn)測試圓球-9PA 裝置極限壓力演示。

惰性氣體強(qiáng)化排氣型（AU 型）實(shí)現(xiàn)了氬氣排氣性能的兩倍。（與我們公司相比）

在高真空范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)大抽速。

可以在短時(shí)間內(nèi)排氣到高真空范圍。

在高真空范圍內(nèi)具有*的啟動特性。（放電可承受至高真空）

用

粒子加速器

電子顯微鏡

電子束光刻設(shè)備

抗振分析儀

使用極端和高真空環(huán)境等

型		PST-030CU 系列	PST-030AU 系列	PST-050CU 系列	PST-050AU 系列	PST-100CX 系列	PST-100AX 系列
廢氣目標(biāo)氣體		活性氣體	稀有氣體	活性氣體	稀有氣體	活性氣體	稀有氣體
再生抽速*		0.03 米3/s N2 測量氣體時(shí)	0.013 米3/s 測量 Ar 時(shí)	0.045 米3/s N2 測量氣體時(shí)	0.016 米3/s 測量 Ar 時(shí)	0.10 米3/s N2 測量氣體時(shí)	0.05 米3/s 測量 Ar 時(shí)
極限壓力		10-9帕
工作壓力	建議的值	<8.0×10-3帕				<5.0 x 10-3帕
內(nèi)部卷		0.67 X 10-3m3		1.3 倍 10-3m3		3.3 倍 10-3m3
泵元件數(shù)量		1 CU 型電池×	1 組 × AU 型電池	1 CU 型電池×	1 組 × AU 型電池	1 CX 型電池×	1 個(gè) AX 型電池×
連接法蘭類型		UFC070		UFC114		UFC152的
施加電壓		直流+7.5kV
加熱加熱器		無設(shè)置		單相 AC200V，300W		單相 AC200V，320W
標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度		250°C
質(zhì)量		9.5 千克		12 公斤		37 公斤
尺寸 W×D×H		103×183×187 毫米		153×204×241 毫米		155×336×340毫米
使用環(huán)境	溫度范圍	5~40°C
	濕度范圍	85% 或更低（無冷凝）
泵固定螺栓孔尺寸		4 位 - M5 深度 10 毫米				4 位 - M8 深度 6 毫米
的控制器		商品及服務(wù)稅（GST-07L-B）

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ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵 PST-100AX

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