價格
電議
型號
GR-511F-EPV
品牌
HORIBA堀場
所在地
暫無
更新時間
2025-08-15 18:28:24
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日本原裝HORIBA堀場數字質量流量控制器型號,配備多量程/多氣體功能,允許用戶更改氣體類型和流量范圍。
實現了±1.0%SP的高精度、全量程1秒內的高速響應、5SCCM至500SLM的寬量程。通信方式可從數字/模擬、DeviceNet?、EtherCAT?通信中選擇。這是一款不僅適用于*工藝,也適用于各種制造工藝的質量流量控制器。
HORIBA 為半導體制造工藝、研發、質量控制以及從純水到廢水的公用事業中的干法、濕法和光刻工藝提供廣泛的產品。我們將根據多年經驗積累的分析、測量和控制技術提供解決方案。
數字質量流量控制器
它是適用于各種行業和應用的通用型數字質量流量控制器,具有從 10 SCCM 到 1000 SLM 的寬流量控制范圍,并且可以從數字/模擬、DeviceNet?、CC-Link? 中選擇通信方式、PROFIBUS? 和 EtherCAT?。具有±1.0% SP的高精度,全量程1秒內快速響應,多量程/多氣體功能。
業務部門:半導體
產品類別:流體控制
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