日本原裝HORIBA堀場數字質量流量控制器型號，配備多量程/多氣體功能，允許用戶更改氣體類型和流量范圍。

實現了±1.0%SP的高精度、全量程1秒內的高速響應、5SCCM至500SLM的寬量程。通信方式可從數字/模擬、DeviceNet?、EtherCAT?通信中選擇。這是一款不僅適用于*工藝，也適用于各種制造工藝的質量流量控制器。

HORIBA 為半導體制造工藝、研發、質量控制以及從純水到廢水的公用事業中的干法、濕法和光刻工藝提供廣泛的產品。我們將根據多年經驗積累的分析、測量和控制技術提供解決方案。

數字質量流量控制器　

它是適用于各種行業和應用的通用型數字質量流量控制器，具有從 10 SCCM 到 1000 SLM 的寬流量控制范圍，并且可以從數字/模擬、DeviceNet?、CC-Link? 中選擇通信方式、PROFIBUS? 和 EtherCAT?。具有±1.0% SP的高精度，全量程1秒內快速響應，多量程/多氣體功能。　

業務部門：半導體

產品類別：流體控制