百級/千級/萬級電子廠潔凈室潔凈度檢測項目及要求 年檢項目--安衡檢測

對于無塵室內的換氣次數一般要求為:人均每小時換氣5次以上;人均每小時新風量30立方米以上;每人每小時換風量10立方米以上;每平方米允許噪聲強度85分貝以下(a計權);溫濕度波動小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌。等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程，即可達到凈化目的。換氣次數：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。溫度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風補充量是送風量的10％－30％；照度300LX。

空氣懸浮粒子：1.任何潔凈區內取樣點應不少于兩個；2.除潔凈區的設備限制外，取樣點應在整個潔凈區均勻布置；3.在一個區域內應少取樣五次，每個取樣點的取樣次數可多于一次，不同取樣點的取樣次數可以不同；為了確定A級區的級別，每個采樣點的采樣量不得少于1m3。4.取樣點一般布置在距地面0.8~1.5m之間或操作臺的高度；5.盡量避免在回風口附近取樣，而且測試人員應站在取樣口的下風側。

電子廠潔凈室潔凈度檢測項目及要求  4、電子制造業萬級潔凈室新風量取下列兩項中較大值：(1)補償維持室內正壓值所需的室內排風量和新風量之和。(2)潔凈室每人每小時新風量不應少于40立方米。(3)電子制造行業潔凈室凈化空調系統的加熱器應設有新風和溫斷電保護。如果采用點加濕方式，則無需設置水保護。在寒冷地區，新風系統應有防凍保護措施。

電子制造業廠潔凈室檢測要求潔凈度等級、風量、溫度、濕度、壓差、設備排風等按需要進行控制。潔凈室的照度和截面風速按設計或規范控制。另外，這類潔凈室對靜電的要求非常高。嚴格的。其中，對濕度的要求更為嚴格。因為在過于干燥的廠房內容易產生靜電，會損壞CMOS集成度。

沉降菌測試：1.取樣點的分布及其取樣位置與空氣浮游菌監測相同；日常監控可以根據風險分析結果，沉降菌與浮游菌交替或混合取樣。2.沉降時間至少為半小時，但不得過4小時。

10萬級無塵室主要采用的送風方式： 1.局部孔板頂棚送風； 2.帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風； 3.上側墻送風等三種送風方式。

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