十萬級電子潔凈車間檢測 內容和方法--安衡檢測

因為在過于干燥的廠房內容易產生靜電，會損壞CMOS集成度。一般來說，電子車間的溫度應控制在22℃左右，相對濕度應控制在50-60之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規定）。此時，能有效消除靜電，讓人心情舒暢。芯片生產車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造潔凈室的重要組成部分。

噪聲：一般情況下可只檢測：A聲級的噪聲，必要時可采用帶倍頻程分析儀的聲級儀，按中心頻率63、125、250、500、1000、2000、4000、8000Hz的倍頻程檢測，測點附近1m內不應有反射物。聲級計的小刻度不宜低于0.2dB（A）。測點距地面高度1.1m。面積在15m2以下的潔凈室，可只測室中心1點，15m2以上的潔凈室除中心1點外，應再測對角4點，距側墻各1m，測點朝向各角。當為混合流潔凈室時，應分別測定單向流區域、非單向流區域的噪聲。有條件是，宜測定空調凈化系統停止運行后的本底噪聲，室內噪聲與本底噪聲相差小于10dB（A）時，應對測點值進行修正：相差（6~9）dB（A）時減1dB（A），相差（4~5）dB(A)時減2dB(A)，相差3dB(A)時減3dB(A)，相差小于3dB(A)時測定值無效。

電子潔凈車間檢測  電子無塵車間檢測項目:氣流流型目測、空氣潔凈度等級、密閉性測試、靜壓差、噪聲、風速或新風量、溫度、相對濕度、照度、微振、自凈時間等

常規檢測項目：塵埃粒子、溫度、相對濕度、壓差、換氣次數、照度、噪聲；特殊項目：高效過濾器檢漏、自凈時間、微振、靜電、氣密性、氣流流型GMP車間（藥廠）：（GMP車間潔凈度驗收、藥廠凈化車間潔凈度檢測）

照度：室內照度的檢測應為測定出局部照明之外的一般照明的照度，室內照度的檢測可采用便攜式照度計，照度計的小刻度不應大于2lx。室內照度必須在室溫趨于穩定之后進行，并且熒光燈已有100h以上的使用期，檢測前已點燃15min以上，白熾燈已有10h以上的使用期，檢測前已點燃5min以上。測點距地面高0.8m，按1m~2m間距布點，30m2以內的房間測點距墻面0.5m，過30m2的房間，測點離墻1m。

電子制造行業的加工過程規定防靜電和抗震動特性，房間內汽體品種繁多，因而電子無塵車間規定高純和潔凈度等級； *，室內空間設計的空噪聲不可過60db(A)； 次之，無塵車間室外負壓差不低于10pa，清潔區和非清潔區不低于5pa。 第三，電子加工業無塵車間布比卡因的有效分派。單邊流動性凈化室應大于40%，豎直流動性凈化室應低于60%。只能那樣布比卡因才可以遍布，不然它將變成部分單邊流動性。

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