ULVAC愛發(fā)科 皮拉尼真空計 SP1
ULVAC愛發(fā)科 皮拉尼真空計 SP1
傳感器單元 SP1 是一種傳感器型皮拉尼真空計，其中集成了測量元件和電路，可節(jié)省成本和空間。
長處
節(jié)省成本和空間的傳感器類型
燈絲材料由鉑制成，具有優(yōu)異的耐腐蝕性。
2 個設(shè)定點輸出，測量元件輸出：DC0~5V（非線性輸出）
電源電壓：DC24V 輸入
用
用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的低真空范圍內(nèi)的過程控制
用于窯爐和其他工業(yè)設(shè)備的低真空范圍內(nèi)的過程控制
用于具有許多工藝腔室的各種制造設(shè)備（如在線和單晶片）的低真空范圍內(nèi)的過程控制
| 類型 | 傳感器單元 |
| 型 | 第 1 頁 |
| 自適應(yīng)測量元件 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
|
測量精度
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±15 %（51 Pa ~760 Pa） |
| ±30 %（10 帕 ~1000 帕） | |
| ±50 %（0.4 帕 ~3000 帕） | |
| 工作溫度范圍 | 10~40°C |
| 采樣時間 | 50ms 5 移動平均線處理 |
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測量值輸出
|
非線性輸出：DC0-5V（* 10V） |
| （更新時間） 50 ms | |
| （分辨率） 10 mV | |
| 用于設(shè)定點 1/2 調(diào)整的輸出 | 非線性輸出：DC 0-5V（* 10V） |
| 控制輸出信號 | 集電極開路，負邏輯 |
| 錯誤信號 | |
| 設(shè)定點 1/2 | |
| LED 指示 | 功率、錯誤、設(shè)定點 1/2 |
| 電源電壓 | DC24V±2V， 90mA（*） |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15P（M2.6 螺絲） |
| 體重 | 190g （不包括測量元件） |
|
附屬品 |
1 組 I/O 連接器 |
| 快速手冊 （1 份） |
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