ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U20P

ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U20P

低溫泵是一種伸縮式真空泵，旨在實現從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內部的低溫表面上，并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。

此外，值得注意的是，低溫泵盡管使用吸附方式，但與其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環境的各個行業和研究部門。

在考慮安裝低溫泵時，其高性能和提供清潔真空環境的能力是一大優勢。

長處

*適于大型成膜設備等生產設備。

非常適合大規模批量沉積設備

機械增壓泵（羅茨泵）

通用電機式樣

PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

PMB100D-T, PMB300D-T, PMB600D-T, PMB1200D-T, PMB2400D-T

PRC-003A、PRC-006A、

PRC-012A、PRC-018A、 

PRC-003A-X、PRC-006A-X、

PRC-012A-X、PRC-018A-X

PRC-003A-F、PRC-006A-F、

PRC-012A-F、PRC-018A-F

大排氣量通用電機式樣羅茨泵

PMB-040C PMB-060C

羅茨泵小型MBS-053

羅茨泵用分離式支架

YMV-01A

YMV-03A

YMV-06A

YMV-12A

規范

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。