ULVAC愛發科 渦輪分子泵 UTM3400A-MS
ULVAC愛發科 渦輪分子泵 UTM3400A-MS
渦輪分子泵是實現高真空環境的重要設備，廣泛用于半導體制造和研究設施。 該泵通過高速移動分子來有效地產生真空。
渦輪分子泵由高速旋轉的轉子和固定定子組成。 轉子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產生真空。 這個過程利用分子的動能并且非常高效。
與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準備真空環境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環境，非常適合半導體制造等精密工作，并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性，并應用于各種行業和研究領域。
這是一種渦輪分子泵，帶有一個使用磁浮軸承的獨立控制器。 我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號陣容。 控制器可以監控運行狀態并支持各種通信標準。
長處
泵體和控制器部分分離，
可在控制器部分監控運行狀態，并兼容各種通信標準。
自由安裝方向 由于對
安裝方向沒有限制，因此擴大了設備設計的自由度。
抽速 300L/s ~ 4000L/s 級
可在泵速的 25 ~ * 范圍內改變變
速，并可調節腔室壓力。
高耐用性和安全性 它已通過各種安全確認測試，例如
大氣進入測試和著陸測試。
用
各種設備的
真空主排氣系統 - 半導體制造設備
- 氣相沉積設備
- 濺射設備
- 分析設備，實驗室設備等
- 研發設施
輕工藝主排氣系統，無副反應產物
其他高真空排氣應用
| 型 | UTM1300A 質譜儀 | UTM1500A-MS | UTM2400A 質譜儀 | UTM3400A 質譜儀 | UTM4300A 質譜儀 | ||
| 進氣口 | VG200 / ICF253 | VG250 系列 | VG300 / VG350 | VG350型 | |||
| 排氣口 | 肯氟烴40 | ||||||
| 冷卻方式 | 水冷式 | ||||||
| 極限壓力 *1 | 帕 | 10-7 | |||||
| 抽速 *2 | 注 2 | L/s | 0 | 3200 | 4400 | ||
| 氦氣 | L/s | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | L/s | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| H2 系列 | L/s | 750 | 800 | 0 | |||
| 壓縮比 | 注 2 | 6×108 | 1×109 | ||||
| 他 | 1×104 | 7×104 | 1×105 | 3×104 | |||
| H2 系列 | 1×103 | 3×103 | 6×103 | 2×103 | |||
| *入口壓力 *3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| *排氣口壓力 *3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 轉速 | 轉速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 啟動時間 | 7 分鐘或更短 | 11 分鐘或更短 | 12 分鐘或更短 | 18 分鐘或更短 | |||
| 安裝方向 | 可全向安裝 | ||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | ||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1~3 | 2~4 | |||
| 水壓 | MPaG | 02~0.5 | |||||
| 噪聲 | 分貝（A） | 60 | 57 | 60 | |||
| 質量 | 公斤 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 的輔助泵 | 600L/min 或更高 | 1300L/min 或更高 | 1500L/min 或更高 | ||||
| 控制器 | 配置 | 分開 | |||||
| 輸入功率 | 單相 AC200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | ||||||
| *功率要求 | 千伏安 | 1.0 | 1.5 | ||||
| 變速功能 | 運行速度可在泵轉速的 25% ~ * 之間變化（設置以 0.1% 為增量） | ||||||
| 外部控制 | 觸點輸入和輸出 | ||||||
| RS-232C / RS-485 | |||||||
| 質量 | 公斤 | 8 | |||||
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