ULVAC愛發科 渦輪分子泵 YTP - 300MB

ULVAC愛發科 渦輪分子泵 YTP - 300MB

渦輪分子泵是實現高真空環境的重要設備，廣泛用于半導體制造和研究設施。 該泵通過高速移動分子來有效地產生真空。

渦輪分子泵由高速旋轉的轉子和固定定子組成。 轉子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產生真空。 這個過程利用分子的動能并且非常高效。

與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準備真空環境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環境，非常適合半導體制造等精密工作，并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性，并應用于各種行業和研究領域。

這是一種渦輪分子泵，帶有一個使用磁浮軸承的獨立控制器。 我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號陣容。 控制器可以監控運行狀態并支持各種通信標準。

“型號：YTP Ver.B”是搭載陶瓷滾珠軸承型渦輪分子泵的高真空排氣裝置。

可以從大氣壓排氣到高真空。

產品陣容包括可通過 START/STOP 開關自動抽真空的 SA 型和可手動作的 M 型。

此外，旋轉泵是輔助泵的標準規格，也可以選擇干式渦旋泵的干式版本。

長處

根據用途，有多種型號可供選擇：

使用旋轉泵作為輔助泵的標準規格，以及使用干式渦旋泵的干式規格。

*的停電對策

前閥標配電磁閥，以防止停電時回流和故障。

可以檢查粗加工狀態皮拉尼

真空計是標準配置，可以檢查粗抽排氣過程中的壓力。

通過

安裝可選的烘烤加熱器和脫氣處理，可以排氣到 UHV 區域。 （* 作為產品規格值）

用

常壓至高真空排氣系統

用于各種實驗和研究設備的排氣系統

高純度氣體的真空置換

高真空設備的粗廢氣系統

分析儀排氣系統