ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵 PST-030AU

ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵 PST-030AU

濺射離子泵使用電場(chǎng)和磁場(chǎng)使氣體分子電離。 電離分子被電場(chǎng)加速并與固體目標(biāo)表面碰撞。 這種碰撞導(dǎo)致分子嵌入表面并產(chǎn)生真空。 該工藝對(duì)于去除惰性和反應(yīng)性氣體特別有效。

濺射離子泵是精密實(shí)驗(yàn)和制造工藝的理想選擇，因?yàn)樗鼈兛梢詫?shí)現(xiàn) 10^-11 Torr 或更低的高真空，并且沒有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，因此使用壽命長(zhǎng)，維護(hù)成本低，并且不使用油來提供清潔、無污染的真空環(huán)境。 此外，與其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等優(yōu)點(diǎn)。

該泵利用濺射活性鈦的吸氣劑作用來增強(qiáng)高真空范圍內(nèi)的排氣特性。

通過優(yōu)化新元件和磁場(chǎng)，改善了極端和高真空范圍內(nèi)的排氣特性。

長(zhǎng)處

兼容極端和高真空。 10 帶 ISO 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試圓球-9PA 裝置極限壓力演示。

惰性氣體強(qiáng)化排氣型（AU 型）實(shí)現(xiàn)了氬氣排氣性能的兩倍。 （與我們公司相比）

在高真空范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)大抽速。

可以在短時(shí)間內(nèi)排氣到高真空范圍。

在高真空范圍內(nèi)具有*的啟動(dòng)特性。 （放電可承受至高真空）

用

粒子加速器

電子顯微鏡

電子束光刻設(shè)備

抗振分析儀

使用極端和高真空環(huán)境等