ULVAC愛發科 濺射離子泵 PST-050AU
ULVAC愛發科 濺射離子泵 PST-050AU
濺射離子泵使用電場和磁場使氣體分子電離。 電離分子被電場加速并與固體目標表面碰撞。 這種碰撞導致分子嵌入表面并產生真空。 該工藝對于去除惰性和反應性氣體特別有效。
濺射離子泵是精密實驗和制造工藝的理想選擇，因為它們可以實現 10^-11 Torr 或更低的高真空，并且沒有機械運動部件，因此使用壽命長，維護成本低，并且不使用油來提供清潔、無污染的真空環境。 此外，與其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等優點。
該泵利用濺射活性鈦的吸氣劑作用來增強高真空范圍內的排氣特性。
通過優化新元件和磁場，改善了極端和高真空范圍內的排氣特性。
長處
兼容極端和高真空。 10 帶 ISO 標準測試圓球-9PA 裝置極限壓力演示。
惰性氣體強化排氣型（AU 型）實現了氬氣排氣性能的兩倍。 （與我們公司相比）
在高真空范圍內實現大抽速。
可以在短時間內排氣到高真空范圍。
在高真空范圍內具有*的啟動特性。 （放電可承受至高真空）
用
粒子加速器
電子顯微鏡
電子束光刻設備
抗振分析儀
使用極端和高真空環境等
| 型 | PST-030CU 系列 | PST-030AU 系列 | PST-050CU 系列 | PST-050AU 系列 | PST-100CX 系列 | PST-100AX 系列 | |
| 廢氣目標氣體 | 活性氣體 | 稀有氣體 | 活性氣體 | 稀有氣體 | 活性氣體 | 稀有氣體 | |
| 再生抽速* |
0.03 米3/s N2 測量氣體時 |
0.013 米3/s 測量 Ar 時 |
0.045 米3/s N2 測量氣體時 |
0.016 米3/s 測量 Ar 時 |
0.10 米3/s N2 測量氣體時 |
0.05 米3/s 測量 Ar 時 |
|
| 極限壓力 | 10-9帕 | ||||||
| 工作壓力 | 建議的值 | <8.0×10-3帕 | <5.0 x 10-3帕 | ||||
| 內部卷 | 0.67 X 10-3m3 | 1.3 倍 10-3m3 | 3.3 倍 10-3m3 | ||||
| 泵元件數量 | 1 CU 型電池× | 1 組 × AU 型電池 | 1 CU 型電池× | 1 組 × AU 型電池 | 1 CX 型電池× | 1 個 AX 型電池× | |
| 連接法蘭類型 | UFC070 | UFC114 | UFC152的 | ||||
| 施加電壓 | 直流+7.5kV | ||||||
| 加熱加熱器 | 無設置 | 單相 AC200V，300W | 單相 AC200V，320W | ||||
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標準烘烤 溫度 |
250°C | ||||||
| 質量 | 9.5 千克 | 12 公斤 | 37 公斤 | ||||
| 尺寸 W×D×H | 103×183×187 毫米 | 153×204×241 毫米 | 155×336×340毫米 | ||||
| 使用環境 | 溫度范圍 | 5~40°C | |||||
| 濕度范圍 | 85% 或更低（無冷凝） | ||||||
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泵 固定螺栓孔尺寸 |
4 位 - M5 深度 10 毫米 |
4 位 - M8 深度 6 毫米 |
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| 的控制器 | 商品及服務稅 （GST-07L-B） | ||||||
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