ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵 MS120A

ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵 MS120A

螺桿式真空泵是一種真空泵，其中泵殼中的螺桿轉子將流體引導到網狀間隙中并旋轉它以沿軸向連續移動流體。

“Model：MS” 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。 這是一種基于傳統“Model：LS”的耐過程性干式真空泵，具有更高的耐腐蝕性和粉末排出性。 它設計用于具有腐蝕性氣體和粉末排放的真空過程。

長處

通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊表面處理，實現了高耐腐蝕性。

螺旋式轉子軸具有 ULVAC 獨有的設計，可實現高粉末排放。

可在從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內連續運行。

用

電子元件和半導體制造設備、

蝕刻設備、灰化設備、等離子清洗設備等的真空排氣系統

真空熱處理爐、

燒結爐、滲碳爐等的真空排氣系統

鋰電池制造設備、

電極干燥設備、消泡設備、注液設備等的真空排氣系統。

醫療和食品相關設備的真空排氣系統、

冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。