ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵 LS1200A

ULVAC愛發科 螺桿式干式真空泵 LS1200A

螺桿式真空泵是一種真空泵，其中泵殼中的螺桿轉子將流體引導到網狀間隙中并旋轉它以沿軸向連續移動流體。

“Model：LS” 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。 過去，提高抽速需要消耗大量功率，但通過將專有的螺桿形狀與節能技術相結合，這款干式真空泵實現了高速排氣和低功耗。 有四種型號的陣容，您可以根據設備的大小、使用條件和用途選擇具有*泵送能力的泵。

長處

在接近大氣壓時的抽速可達 80 m3 /h，與傳統真空泵相比，抽氣時間可縮短約 20%。

標配的消音器也解決了干式真空泵固有的噪音問題。 極限壓力下的噪音值小于 61 dB（A），即使在運行過程中也不明顯。 (*1)

C 規格中標配的 ECO-SHOCK 技術是 ULVAC 專有的節能技術。 極限壓力下的功耗可降至 0.6 kW 或更低。 (*2)

“Model：LS” 不需要軸封氣體。 在主要排放氮氣和空氣的清潔工藝中，可以降低運行成本。 (*3)

對于想要進一步提高抽速的用戶，我們建議使用機械增壓泵。 120~ 通過組合1200 米3/h 是可訪問的。

用

C 規格：清潔工藝 （LS***A-C） 特點

：內置 ECO-SHOCK 的低功耗型

應用：用于清潔排氣和N2 排氣、濺射、氣相沉積、粘合、負載鎖定室、TMP 輔助等。

L 規格： 輕工藝 （LS***A-L） 特點

： 具有表面處理和吹掃功能的

輕工藝類型 應用： 用于水蒸氣和揮發性化學廢氣等輕工藝、真空干燥、冷凍干燥、灰化、一般工業應用等。

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。