ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 HR600

ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 HR600

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導體行業等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

通過在高溫范圍內均衡泵體的熱量，可以將 CVD、蝕刻等產生的升華廢氣物質以

氣態排出。

長處

可以在氣態下排放高溫區域熱均衡

CVD 和蝕刻產生的升華廢氣排放物。

“Model：UR” 甚至可以高于 “Model：HR”。

由于安裝了氦氣密封

屏蔽電機，因此具有密封結構，因此非常安全。

瞬時停止：在 1000 毫秒內實施瞬時停止

措施。

優異的耐腐蝕性主要

部件采用特殊的表面處理，以高表面硬度和優異的耐腐蝕性為標準。 減少排空腐蝕性氣體時泵內部的腐蝕。

通信功能：

可以讀取泵運行狀態和警告/警報歷史記錄數據。 通過使用軟件和計算機通信，可以進行集中監控。

用

CVD 設備

蝕刻設備

灰化裝置

ALD、ALH 等

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。