ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 GR60A

ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 GR60A

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導體行業等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

干式真空泵“Model：GR”是在久經考驗的“Model：LR?HR”的基礎上，為一般工業設計的結構簡單的泵。

長處

可用于高負載應用，例如大氣~真空的重復抽真空和高壓區域的連續運行

非常適合需要高通量的載重鎖室（制備室和取出室）的排氣

與通用感應電機兼容

可安裝防爆電機等特殊電機（可選）

使用多電壓電機

用

真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體

各種沉積設備的制備室和取出室的排氣

一般工業應用，如真空干燥、真空氣體置換和真空消泡

真空氣體置換，例如真空絕熱和充氣

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。