ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 ES10-LR60

ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 ES10-LR60

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導體行業等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

“Model：ECO-SHOCK”是一個劃時代的附件，當連接到您當前的干式真空泵時

，它可以顯著節省干泵的能源。

長處

有助于節能將干式真空泵的功耗降低

高達 80%（與本公司相比），

還具有抑制干泵發熱的作用，可降低空調設備的功耗。

* 不能用于排放易燃、易燃、有毒氣體等的泵。

提高干泵的性能提高極限壓力性能降低

排氣噪音降低排氣速度在連續運行時間不過

1000 Pa 的應用中實現

高效率

*可安裝在排氣口抽真空沒有問題的干泵上。

易于安裝

用

干式真空泵用于抽空空氣、氮氣和氬氣等惰性氣體

用于濺射制備室和取出室的干式真空泵

ES10 系列

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。