ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 LR600
ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 LR600
多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內不使用油或液體的機械真空泵。
在 FPD、電子和半導體行業等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。
通過在低溫范圍內平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時間以提高吞吐量非常重要。
長處
除了低溫整平（型號：LR）
PVD 工藝外，它還特別適用于制備室和取出室的排氣，在這些地方，縮短抽氣時間對于提高產量很重要。
由于其密封結構，由于其密封
結構，它非常安全。
瞬時停止：在 1000 毫秒內實施瞬時停止
措施。
優異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優異的特殊
表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時泵內部的腐蝕。
通信功能：
可以讀取泵運行狀態和警告/警報歷史記錄數據。 通過使用軟件和計算機通信，可以進行集中監控。
用
成膜設備（濺射設備、氣相沉積設備等）
減少準備室和取出室的排氣時間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣、機械增壓泵）
規范
| 型 | LR300 系列 | LR600 系列 | LR1200型 | LR1800 系列 | LR3601 系列 | LR3601-T（TT） 銅皮 | LR3601-R | LR3601-TR（TTR） 銅 | ||
| 使用的泵 | DRP | LR60 系列 | LR90 系列 | LR90 系列 | LR180型 | LR421 系列 | LR421-T | LR421 系列 | LR421-T | |
| MPB | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | PRC-018A 系列 | PRC-036C 系列 | PRC-036C（-T） 系列 | PRC-036D 系列 | PRC-036D（D-T） 系列 | ||
| *抽速 | 50 赫茲 |
m3/h （升/分鐘） |
359 （5,980） |
653 （10,900） |
1,012 （16,900） |
1,701 （28,350） |
3,200 (53,333) | |||
| 60 赫茲 |
m3/h （升/分鐘） |
365 （6,080） |
701 （11,700） |
1,051 米 （17,500） |
1,784 （29,700） |
3,200 (53,333) | ||||
| 極限壓力 | 0.67 帕 | |||||||||
| *入口壓力（入口壓力） | 氣壓 | |||||||||
| *排氣口壓力（排氣壓力） | 1Pa ~ 大氣壓 | |||||||||
| 進氣口 （CE 規格） | VG80 （KF80） |
VG100 型 （KF100） |
VG150 型 （KF100） |
VG150型 | ||||||
| 排氣口 | 肯氟烴40 | KF50 系列 | ||||||||
| MBP 表面處理 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | × |
T：× TT：× |
× |
TR：× TTR：〇 |
||
| 質量 | 公斤 | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 電力 *3 | 三個階段 | VAC （赫茲） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 （50/60） | ||||||
| 當前值 | 穩態 | 一個 |
7.0 （200V 時） |
12.3 （200V 時） |
13.7 （200V 時） |
21.4 （200V 時） |
31.0 （200V 時） 400V 時 20.5 |
35.4 （200V 時） 400V 時 20.5 |
||
| *值 | 一個 |
9.6 （200V 時） |
19.0 （200V 時） |
24.2 （200V 時） |
39.8 （200V 時） |
200V 時為 58.4,400V 時為 40.5 |
82.0 （200V 時）400V 時 40.5 |
|||
| 冷卻水臨時壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷卻水入口/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | >4.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | ||||||||
| N2?吹掃 | 軸 | SLM 系列 | 5 | |||||||
| 加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | 無 *4 | 0~45 | 無 *4 | 0~45 | ||||
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