電感耦合等離子體質譜儀 (簡稱ICP-MS），是20世紀80年代發展起來的一種新的微量（10-6）、痕量（10-9）和痕量（10-12）元素分析技術。ICP-MS可測定元素周期表中大部分元素，且具有極低的檢出限、極寬的動態線性范圍、譜線簡單、干擾少、精密度高、分析速度快等性能優勢。